涂胶显影设备

ZHT-150

ZHT-150是众鸿自主开发的150mm全自动涂胶显影设备,广泛应用于光通讯,化合物半导体,功率器件,Mini LED等领域。

产品优势:

  1. 一体化设计,设备占地小、稳定性高
  2. 可根据客户需求进行定制化功能开发
  3. 100mm/150mm 两种产品兼容
  4. 支持G-line,I-line生产工艺
  5. 零部件国产化,性价比高
  6. 支持SECS通信

自主研发

  • 运行软件
  • 机械传送
  • 电路模块
  • 涂显单位
化合物半导体

工艺能力:> 0.18um
产品:砷化镓(GaAs) ,氮化镓(GaN),
碳化硅(SiC), 滤波器 (Filter)

微机半导体

工艺能力:> 0.18um
产品:MEMS

硅基半导体

工艺能力:> 90nm
产品:IGBT ,CMOS ,MPU ,MCU,
DSP,RAM,ROM,Flash ,