以技术为依归,以服务为支持

我们将以“为中国智造”添砖加瓦的历史使命,要求自身,恪守科研精神,造国之所需,造民之所需。
我们以开拓进取的积极心态,努力在半导体设备智造业史上留下属于“众鸿”的篇章。

光刻工艺前后道主设备【涂胶、显影】国产化设备

TEL TRACK

TEL TRACK

  • 再制造&再制造
  • 技术服务
  • 装机
  • 调试
  • 配件更换
  • Coat & Dey 改造升级
  • 晶圆尺寸配套改造
  • MA, CS Arm 再制造
  • WEE Lamphouse 再制造
  • CP, HP 再制造
  • Heater Exchange 再制造
  • T&H, Monitor 再制造

配件维修

维修/再制造

Main Arm ,C/S Arm ,WEE ,THERMO-CON ,Temp CTL , ACU, DC Power, T&H , Spin Motor & Driver , CP Unity etc.

配件维修

8寸

Robot Overhaul

  • Application System : TEL Unity2e
  • Maker : Yaskawa Electric
  • Controller Model : SRC- Ⅰ or SRC-Ⅱ
  • Robot Type : VS2A or VS2B/VS2C/VS2E
  • Pre-Aligner Type : V0SJ, V0SH

Stable Transfer → Increase Up-time

Gap ass’y Overhaul

  • Application : SCCM, DRM, IEM, PE chamber
  • Chain change
  • Bearing Change
  • Balance Calibration

改造升级

Vacuum Arm

机械手臂

  • Main arm modify to vacuum arm, centering accurate transmit.
  • ETCInclude Tel Scurrber tool main arm modify.

PDP to LCD

操作面板

  • PDP is easilybroken.
  • Improve clarity, operation more convenient for user.

External Sensor

BUFFER TANK

  • CHEMICAL BUFFER TANK内置型 SENSOR ,老化频发发生报废 。
  • 外置SENSOR 无接触 CHEMICAL ,避免腐蚀导致SENSOR 报废 。
  • BUFFER TANK 的CHEMICAL LEVEL (LL , L , H , HH)调整简单及节省时间。

改造升级

12寸

LLM 马达

  • Application System :TEL Telius
  • Maker : Nabtesco
  • Type : 2L80-0001555-XX
  • Stable Transfer → Increase Up-time

LLM 手臂

  • Application System : TEL TELIUS
  • Description : LLM Arm Assembly
  • Stable Transfer → Increase Up-time