近日,上海众鸿再获涂胶显影自研设备采购订单!
2023.06.20

ZHT-200是众鸿首款自研涂胶显影设备,广泛应用于常规硅基半导体芯片制造领域及化合物半导体的碳化硅、砷化镓、滤波器等领域,目前已实现量产。产品各项优势如下:
A.小尺寸,单位面积产出高
B.支持Inline光刻机,支持KRF工艺
C.支持复合板,支持循环水控温冷板
D.支持工艺参数数字化收集
E.支持远程监控系统
F.支持天车自动化传送系统
G.支持EAP系统


本篇文章来源于微信公众号:众鸿
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