产品

• 适用晶圆尺寸：8&6inch 或兼容
• 设备尺寸:1850*1700*2600mm（Single block）
  3110*1700*2500mm（Open型 daul block ）
• 翘曲度：±1mm
• 应用领域：硅基，碳化硅，氮化镓，滤波器，砷化镓，先进封装等领域。

产品优势：

1. 可支持多单元灵活定制
2. 支持I-Line光刻机，支持KRF工艺
3. 支持复合板，支持循环水控温冷板
4. 支持工艺参数数字化收集
5. 支持远程监控系统
6. 支持EAP系统

技术参数：

1. 转速范围：0-6000rpm
2. 加速度范围：0-50000rpm/sec
3. 转速精度：±1rpm
4. 热盘温度范围：50-200℃
5. 热盘温度均匀性：
   50.0℃ ~ 120.0℃ : Range ≤ 0.4℃
   120.1℃ ~ 150.0℃ : Range ≤ 0.8℃
   150.1℃ ~ 200.0℃ : Range ≤ 1.2℃
6. 冷盘温度范围：20-30℃
7. 冷盘温度均匀性：±0.2℃
8. 适用光刻胶：Max：20000CP
9. 胶泵类型：Cylinder/Motor Type pump
10. 光刻胶或显影液管路：PFA
11. 流量监控：Flowmeter+对射sensor/Finflow/超声波流量计