ZHT-150是我司自主开发的150mm全自动涂胶显影设备，广泛应用于光通讯，化合物半导体，功率器件，Mini LED等领域。

  产品优势：

• 一体化设计，设备占地小、稳定性高

• 可根据客户需求进行定制化功能开发

• 100mm/150mm 两种产品兼容

• 支持G-line，I-line生产工艺

• 零部件国产化，性价比高

• 支持SECS通信

ZHT-200是众鸿自主开发的全自动涂胶显影设备，通过涂胶跟显影单元可将芯片制程中需要的图形在基底材料上显现出来。广泛应用于硅基，碳化硅，氮化镓，滤波器，砷化镓，先进封装等领域。

产品优势：

• 灵活组合，多工艺支持

• 支持Inline光刻机，支持KRF工艺

• 150mm/200mm两种产品兼容

• 支持复合板，支持循环水控温冷板

• 支持工艺参数数字化收集

• 支持远程监控系统

• 支持天车自动化传送系统

• 支持EAP系统

上海众鸿创始于2011年1月，聚焦半导体核心制造领域。是集研发、生产、市场销售于一体的上海市高新技术认证企业，上海市“专精特新”企业，临港新片区重点企业，已通过ISO管理体系认证。

公司于2021年3月在上海临港钻石园投资建设制造中心，厂房面积6846㎡，万级车间756㎡，千级车间322㎡， 年产能可达60台左右。