单片旋转式清洗设备

单片旋转式清洗, 6.8.12寸设备

ZHS-200是众鸿自主开发的全自动SCRUBBER清洗机,用于对晶圆表面,背面及晶圆边缘的清洗,实现颗粒有效去除。

产品优势:

  1. 高品质—CLASS 10环境等级;静电消除系统
  2. 高产能—WPH高达380片/小时
  3. 多样性—不同清洗方式满足不同工艺的需求
  4. 定制化—根据客户需求进行配置
  5. 先进性—最新操作系统,软件功能多样性
化合物半导体

工艺能力:> 0.18um产品:砷化镓(GaAs) ,氮化镓(GaN),碳化硅(SiC), 滤波器 (Filter)

微机半导体

工艺能力:> 0.18um产品:MEMS

硅基半导体

工艺能力:> 90nm产品:IGBT ,CMOS ,MPU ,MCU,DSP,RAM,ROM,Flash ,