涂胶显影设备

ZHT-200, 6~8寸

ZHT200是众鸿自主开发的全自动涂胶显影设备,通过涂胶跟显影单元可将芯片制程中需要的图形在基底材料上显现出来。广泛应用于硅基,碳化硅,氮化镓,滤波器,砷化镓,先进封装等领域。

产品优势:

  1. 灵活组合,多工艺支持
  2. 支持Inline光刻机,支持KRF工艺
  3. 150mm/200mm两种产品兼容
  4. 支持复合板,支持循环水控温冷板
  5. 支持工艺参数数字化收集
  6. 支持远程监控系统
  7. 支持天车自动化传送系统
  8. 支持EAP系统

自主研发

  • 运行软件
  • 机械传送
  • 电路模块
  • 涂显单位
化合物半导体

工艺能力:> 0.18um
产品:砷化镓(GaAs) ,氮化镓(GaN),
碳化硅(SiC), 滤波器 (Filter)

微机半导体

工艺能力:> 0.18um
产品:MEMS

硅基半导体

工艺能力:> 90nm
产品:IGBT ,CMOS ,MPU ,MCU,
DSP,RAM,ROM,Flash ,