涂胶显影设备

ZHT-300

ZHT-300是众鸿自主开发的300mm涂胶显影设备,广泛应用于硅基前道制程和先进封装等。

产品优势:

  1. 连接光刻机,完成光刻工序自动化生产
  2. 自研高精度冷热板,满足高精度制程需求
  3. 200mm/300mm 两种产品兼容
  4. 叠加式结构布局,单位面积产出高
  5. 支持SECS通信和AMHS系统
  6. 可以根据客户需求进行设备配置
  7. 零部件国产化,大幅降低成本

自主研发

  • 运行软件
  • 机械传送
  • 电路模块
  • 涂显单位
化合物半导体

工艺能力:> 0.18um
产品:砷化镓(GaAs) ,氮化镓(GaN),
碳化硅(SiC), 滤波器 (Filter)

微机半导体

工艺能力:> 0.18um
产品:MEMS

硅基半导体

工艺能力:> 90nm
产品:IGBT ,CMOS ,MPU ,MCU,
DSP,RAM,ROM,Flash ,